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    氣體質量流量控制器公司多重優惠 曉韜科技公司

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    發布時間:2020-11-07 11:03  






    質量流量計簡介

    質量流量:

    以單位時間內流過某截面的流體質量表示的流量。氣體質量流量一般將其換算成標準狀態下的 體積/分鐘 來表示。例如:毫升/分鐘即 mL/min (SCCM行業標準), 升/分鐘即 L/min (SLM行業標準). 標準狀態為:氣體溫度—— 273.15K (0℃); 氣壓——101325Pa(1atm)

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    質量流量計的用途

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    1. 鍋爐、裂解爐用燃料氣質量流量測量控制;

    2. 石油化工、采油、火炬氣質量流量測量;

    3. 燃燒爐用空氣質量流量測量控制;燃汽輪機氫氣質量流量和控制;

    4. 食品加工及飲料氣體質量流量和控制;

    5. 水廠氣質量流量控制;

    6. 生產半導體時高純度氣體質量流量測量;

    7. 催化劑、化學添加劑質量流量測量;

    8. 泵的保護控制、泵密封、潤滑油池泄漏檢測;

    9. 空調系統控制;

    10. 儀表用空氣、工藝空氣、氮氣等質量流量測量。

    11. 氣體分析儀,大氣采樣器

    12. 泄露監測

    13. 氣體分配系統

    14. 實驗室氣體測量

    15. 醫學應用

    16. 燃料電池

    17. 應用氣體:Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等絕大多數氣體。



    質量流量控制器的常見問題

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    實際使用中發現,當輸入的氣體不同時控制顯示的數值與實際不符,其實原因很簡單,因為在MFC行業中,有一種參數叫CF,即氣體轉換系數(下面簡稱CF)。而MFC行業中又把N2(氮氣)定義為標準氣體M。N2的C值為1.00,其他的氣體以氮氣為中心,分布在0.1到1.4左右。CF大于1.00的代表氣體是單原子氣體He(氦)、Xe(氙)。和N2相近的氣體有02(氧氣)、H2(氫氣)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是幾種氣體的混合在一起的話,簡單的分析其比率,用各自的CF值計算即可。

    假設某臺MFC是用N2標定的,但是實際流過的氣體是He,實際的流量比N2多。各個廠家的He的CF值稍有不同,但大約都在1.4,所以簡單的說就是He氣相同示數時,是N2的1.4倍流量。反過來,如果N2流過He的MFC,實際的流量大約是1÷1.4=約0.71,少30%的流量。

    因此控制器發現流量不準時,考慮出廠標定CF是否與你的氣源相同



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