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干式旋片真空泵及壓縮機SecoSeco 真空泵的工作方式基于成熟的旋片技術原理。由于使用自潤滑旋片，因此無需工作液潤滑。完全采用無油干式壓縮的方式。通過匹配的材料、腔體內的特殊石墨旋片、有效的排熱和先進的精密加工工藝，得以實現連續運行時的高真空。

三葉羅茨風機依照羅茨系統原理工作：兩個平行的轉子在泵體內以相反的方向運轉。泵送介質被密封在轉子和泵腔之間，并通過轉子的旋轉運動，將其壓縮后泵送至排氣口。風機入口配備有集成消音功能的進氣過濾器。而被壓縮介質經風機排放之前，它也將由排氣處理后排出。驅動設備由電機及三角皮帶構成。三角皮帶的驅動方式可使風機轉速得到的調節以配合生產工藝。

動量傳輸泵(真空泵的工作原理)這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。具體可分為下述幾種類型。⑴分子真空泵：它是利用高速旋轉的轉子把能量傳輸給氣體分子，使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式：①牽引分子泵：氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被送到出口，因此，是一種動量傳輸泵。②渦輪分子泵：泵內裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉子，它在定子圓盤（或定片）間旋轉。轉子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態下工作。③復合分子泵：它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合式分子真空泵。

(2)噴射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效應的壓力降產生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵，適于在粘滯流和過渡流狀態下工作。這種泵又可詳細地分成以下幾種：①液體噴射真空泵：以液體（通常為水）為工作介質的噴射真空泵。②氣體噴射真空泵：以非可凝性氣體作為工作介質的噴射真空泵。③蒸氣噴射真空泵：以蒸氣（水、油或等蒸氣）作為工作介質的噴射真空泵。

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